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布局集成电路工艺检测设备 中微公司拟对上海睿

  上海睿励成立于2005年6月,成立以来,已获得多家国资机构投资,累计投资金额超过2亿元。

  上海睿励是国内技术领先的集成电路工艺检测设备供应商,其目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。还承担了2009年和2011年两项国家极大规模集成电路制造技术及成套工艺项目。

  公告显示,上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在28纳米芯片生产线层的检测能力。产品目前已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线台次重复订单,是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。上海睿励产品还进入国内多家领先芯片生产企业生产线。

  此外,上海睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备,也已成功进入众多客户国内LED外延芯片生产线。

  中微公司表示,公司在集成电路刻蚀设备领域的研发和市场化方面已经取得了一定的成果,前期通过投资国内领先的薄膜设备公司沈阳拓荆在集成电路薄膜设备领域进行了布局。

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